光刻膠是芯片光刻環(huán)節(jié)的關(guān)鍵材料，存儲(chǔ)、輸送罐體一旦出現(xiàn)金屬析出、涂層脫落，雜質(zhì)混入光刻膠內(nèi)部，就會(huì)造成晶圓圖案缺陷。普通防腐涂層無(wú)法滿足半導(dǎo)體高純生產(chǎn)的標(biāo)準(zhǔn)，PFA 高純涂層既保留氟樹(shù)脂的耐腐能力，又可以控制析出物水平，成為光刻膠設(shè)備加工的可行方案。上海旭樂(lè)防腐設(shè)備有限公司引入國(guó)外成熟高純 PFA 涂料，在萬(wàn)級(jí)潔凈車間完成施工作業(yè)，保障涂層加工全過(guò)程潔凈可控。

• 高純 PFA 涂層材料特性，適配半導(dǎo)體工況

PFA 屬于可溶性聚四氟乙烯，耐各類強(qiáng)腐蝕化學(xué)介質(zhì)，同時(shí)材料本身添加組分少，可控制金屬離子析出風(fēng)險(xiǎn)。涂層整體光滑致密，不容易產(chǎn)生顆粒脫落，能夠適配光刻膠、CMP 拋光液等化學(xué)品的存儲(chǔ)與輸送場(chǎng)景，經(jīng)過(guò)半導(dǎo)體項(xiàng)目驗(yàn)證，可用于晶圓清洗、光刻膠供給、過(guò)濾設(shè)備等部件。

• 潔凈環(huán)境下施工，規(guī)避加工階段外來(lái)污染

普通噴涂車間環(huán)境粉塵多，加工過(guò)程雜質(zhì)容易夾雜進(jìn)涂層內(nèi)部。上海旭樂(lè)防腐設(shè)備有限公司采用萬(wàn)級(jí)潔凈車間開(kāi)展 PFA 涂層施工，對(duì)車間環(huán)境、工裝器具都做潔凈管控，減少粉塵顆粒混入涂層，從加工環(huán)節(jié)降低設(shè)備后期帶來(lái)的污染隱患。

• 工件前期處理，為涂層附著打下基礎(chǔ)

半導(dǎo)體不銹鋼罐體工件，先完成表面打磨、除油脫脂，把工件表面油污、雜質(zhì)徹底清理干凈。表面處理質(zhì)量，直接關(guān)系 PFA 涂層的粘結(jié)強(qiáng)度，處理不到位會(huì)出現(xiàn)起皮、局部脫落。異形結(jié)構(gòu)、罐體焊縫位置作為重點(diǎn)處理區(qū)域，保障后續(xù)涂層均勻覆蓋。

• PFA 涂層噴涂與固化工藝管控

按照工藝規(guī)范完成多道噴涂作業(yè)，把控每道涂層厚度，規(guī)避厚薄不均。嚴(yán)格遵循固化溫度與保溫時(shí)間參數(shù)，溫度曲線不合理，會(huì)造成涂層內(nèi)應(yīng)力變大，出現(xiàn)開(kāi)裂隱患。對(duì)于罐體接口、法蘭、轉(zhuǎn)角等應(yīng)力集中位置，做好工藝優(yōu)化，減少薄弱點(diǎn)。

• 成品檢測(cè)，驗(yàn)證涂層綜合表現(xiàn)

加工完成之后開(kāi)展多維度檢測(cè)，檢查外觀有無(wú)鼓包、破損；開(kāi)展電火花檢測(cè)排查涂層漏點(diǎn)；同時(shí)管控涂層厚度均勻性。針對(duì)半導(dǎo)體高純使用場(chǎng)景，也可根據(jù)項(xiàng)目需求配合做析出相關(guān)驗(yàn)證，確認(rèn)成品滿足工況要求之后再交付。

• 現(xiàn)場(chǎng)使用與運(yùn)維注意事項(xiàng)

PFA 涂層設(shè)備使用過(guò)程避免硬物磕碰劃傷內(nèi)襯；控制工作溫度，不要超出材料允許使用區(qū)間；設(shè)備檢修時(shí)禁止硬質(zhì)工具刮擦涂層內(nèi)壁；定期檢查涂層狀態(tài)，發(fā)現(xiàn)局部損傷及時(shí)處理，防止問(wèn)題擴(kuò)大。

半導(dǎo)體光刻膠設(shè)備，防腐不只是抵御介質(zhì)腐蝕，更要兼顧高純無(wú)析出的主要訴求。上海旭樂(lè)防腐設(shè)備有限公司發(fā)揮 PFA 高純涂層加工能力，依托潔凈車間施工條件，為光刻膠存儲(chǔ)、輸送罐體及各類半導(dǎo)體部件提供內(nèi)襯加工服務(wù)，助力半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)的品質(zhì)管控。